大氣壓力傳感器的應用及原理
發布時間：2023-03-22 點擊次數：183次
大氣壓力傳感器除被廣泛應用在氣象監測中外，還被應用在很多方面：如將其安裝在無人機上，可以通過無人機的周圍氣壓與遙控器氣壓的對比，從而得知無人機和控制人員的高度差，幫助無人機更好的進行著陸；將其應用在智能手機、智能手表，智能手環等消費電子產品中可發揮更多的作用，還用來測量準確的高度位置、改善室內導航，熱量計算以及許多其它的應用。大氣壓力傳感器與半導體壓敏電阻壓力傳感器的制作原理類似，也是采用集成電路與微加工技術，在一塊半導體基片（硅片）上形成壓力傳感器、溫度補償電路和放大電路。
在硅片的中間，從反面經異向腐蝕形成了一個正方形的膜片（利用膜片將壓力變換成應力），在膜片的表面，通過擴散雜質形成4個P型的測量電阻，以惠斯頓電橋方式連接，利用膜片的壓阻效應（將加在膜片上的壓力變換成電阻的變化），在兩個輸出端子之間輸出一定的電位差。
膜片的里面與硅杯之間設計成真空腔，用于緩和外部的應力，并以此真空腔的壓力為基準來測量大氣壓力。
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